ทฤษฎีการทำงาน:

โดยการดูดอากาศออกจากเตาเผาจนเป็นสุญญากาศก่อน แล้วจึงให้ความร้อนจนถึงอุณหภูมิที่กำหนด จากนั้นจึงเติมแอมโมเนียเข้าไปเพื่อกระบวนการไนไตรดิ้ง แล้วจึงดูดอากาศออกและเติมแอมโมเนียอีกครั้ง ทำซ้ำหลายรอบจนกว่าจะถึงระดับความลึกของไนไตรด์ที่ต้องการ

ข้อดี:

เมื่อเปรียบเทียบกับการไนไตรดิ้งด้วยแก๊สแบบดั้งเดิม การไนไตรดิ้งด้วยสุญญากาศมีประสิทธิภาพในการดูดซับที่ดีกว่าโดยอาศัยการทำงานของพื้นผิวโลหะภายใต้ความร้อนในสุญญากาศ ทำให้ใช้เวลาในการดำเนินการน้อยลงและได้ความแข็งที่สูงขึ้นแม่นยำควบคุมได้ดีขึ้น ใช้แก๊สน้อยลง และได้ชั้นสารประกอบสีขาวที่หนาแน่นขึ้น