ลักษณะเฉพาะ:

1) ความเร็วในการไนไตรดิ้งเร็วขึ้น วงจรการไนไตรดิ้งสามารถย่นระยะเวลาได้อย่างเหมาะสม และเวลาในการไนไตรดิ้งด้วยไอออนสามารถย่นเหลือเพียง 1/3-2/3 ของเวลาในการไนไตรดิ้งด้วยแก๊ส

2) ชั้นไนไตรดิ้งมีความเปราะน้อย และชั้นสีขาวที่เกิดขึ้นบนพื้นผิวของชั้นไนไตรดิ้งพลาสมานั้นบางมาก หรืออาจไม่มีเลย นอกจากนี้ การเสียรูปที่เกิดจากชั้นไนไตรดิ้งยังมีน้อย ซึ่งเหมาะอย่างยิ่งสำหรับชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำสูงและมีรูปทรงซับซ้อน

3) สามารถประหยัดพลังงานและแอมโมเนียได้ การใช้พลังงานไฟฟ้าจะอยู่ที่ 1/2-1/5 ของการไนไตรดิ้งด้วยแก๊ส และการใช้แอมโมเนียจะอยู่ที่ 1/5-1/20 ของการไนไตรดิ้งด้วยแก๊ส

4) การไนไตรดิ้งเฉพาะจุดทำได้ง่าย ตราบใดที่ส่วนที่ไม่ต้องการไนไตรดิ้งไม่เกิดการเรืองแสง ส่วนที่ไม่ไนไตรดิ้งก็ป้องกันได้ง่าย และการเรืองแสงสามารถป้องกันได้ด้วยการป้องกันทางกลและแผ่นเหล็ก

5) การระดมยิงด้วยไอออนสามารถทำความสะอาดพื้นผิวและกำจัดฟิล์มพาสซิเวชันได้โดยอัตโนมัติ เหล็กกล้าไร้สนิมและเหล็กทนความร้อนสามารถทำไนไตรด์ได้โดยตรงโดยไม่ต้องกำจัดฟิล์มพาสซิเวชันออกก่อน

6) โครงสร้างชั้นผสม ความหนาและโครงสร้างของชั้นแทรกซึมสามารถควบคุมได้

7) ช่วงอุณหภูมิในการบำบัดกว้าง และสามารถสร้างชั้นไนไตรดิ้งที่มีความหนาตามต้องการได้แม้ในอุณหภูมิต่ำกว่า 350 องศาเซลเซียส

8) สภาพการทำงานได้รับการปรับปรุงแล้ว กระบวนการไนไตรดิ้งด้วยพลาสมาแบบปราศจากมลพิษดำเนินการภายใต้ความดันต่ำมากและมีก๊าซไอเสียเพียงเล็กน้อย แหล่งก๊าซคือไนโตรเจน ไฮโดรเจน และแอมโมเนีย และโดยพื้นฐานแล้วไม่มีสารอันตรายใด ๆ เกิดขึ้น

9) สามารถนำไปใช้กับวัสดุได้ทุกชนิด รวมถึงสแตนเลส เหล็กทนความร้อนที่มีอุณหภูมิไนไตรดิ้งสูง เหล็กกล้าเครื่องมือ และชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำสูงที่มีอุณหภูมิไนไตรดิ้งต่ำ ในขณะที่การไนไตรดิ้งที่อุณหภูมิต่ำนั้นค่อนข้างยากสำหรับการไนไตรดิ้งด้วยแก๊ส