ทฤษฎีการทำงาน-

โดยการปั๊มเตาเผาล่วงหน้าเพื่อดูดฝุ่น จากนั้นจึงให้ความร้อนจนถึงอุณหภูมิที่ตั้งไว้ เติมแอมโมเนียสำหรับกระบวนการไนไตรด์ จากนั้นจึงปั๊มและเติมอีกครั้งหลังจากหลายรอบเพื่อให้ได้ความลึกไนไตรด์เป้าหมาย

ข้อดี:

เปรียบเทียบกับการไนไตรดิ้งด้วยแก๊สแบบดั้งเดิม ด้วยการทำงานของพื้นผิวโลหะในการให้ความร้อนแบบสุญญากาศ การไนไตรดิ้งแบบสุญญากาศจึงมีความสามารถในการดูดซับที่ดีขึ้น ทำให้ใช้เวลาน้อยลงและมีความแข็งมากขึ้นแม่นยำควบคุมการใช้แก๊สให้น้อยลง ชั้นสารประกอบสีขาวมีความหนาแน่นมากขึ้น