ลักษณะเฉพาะ:

1) ความเร็วในการไนไตรด์เร็วขึ้น วงจรไนไตรด์สามารถสั้นลงได้อย่างเหมาะสม และเวลาไนไตรด์ไอออนิกสามารถสั้นลงเหลือ 1/3-2/3 ของเวลาไนไตรด์ก๊าซ

2) ความเปราะของชั้นไนไตรดิ้งมีน้อย และชั้นสีขาวที่เกิดขึ้นบนพื้นผิวของไนไตรดิ้งพลาสมามีความบางมากหรือแทบไม่มีเลย นอกจากนี้ การเสียรูปที่เกิดจากชั้นไนไตรดิ้งยังมีน้อย ซึ่งเหมาะอย่างยิ่งสำหรับชิ้นส่วนความแม่นยำที่มีรูปร่างซับซ้อน

3) สามารถประหยัดพลังงานและแอมโมเนียได้ โดยใช้พลังงานไฟฟ้าเพียง 1/2-1/5 ของกระบวนการไนไตรด์ด้วยแก๊ส และใช้พลังงานแอมโมเนียเพียง 1/5-1/20 ของกระบวนการไนไตรด์ด้วยแก๊ส

4) การทำไนไตรด์ในพื้นที่นั้นทำได้ง่าย ตราบใดที่ส่วนที่ไม่ต้องการไนไตรด์ไม่เกิดการเรืองแสง ส่วนที่ไม่ไนไตรด์นั้นก็สามารถปกป้องได้ง่าย และสามารถปกป้องการเรืองแสงได้ด้วยการป้องกันทางกลไกและแผ่นเหล็ก

5) การยิงไอออนสามารถทำความสะอาดพื้นผิวและขจัดฟิล์มพาสซีฟออกได้โดยอัตโนมัติ สแตนเลสและเหล็กทนความร้อนสามารถผ่านกระบวนการไนไตรด์ได้โดยตรงโดยไม่ต้องขจัดฟิล์มพาสซีฟออกก่อน

6) โครงสร้างชั้นผสม ความหนาของชั้นซึม และโครงสร้างสามารถควบคุมได้

7) ช่วงอุณหภูมิการบำบัดกว้าง และสามารถได้ความหนาของชั้นไนไตรด์ในระดับหนึ่งแม้จะต่ำกว่า 350 องศาเซลเซียสก็ตาม

8) สภาพการทำงานได้รับการปรับปรุงให้ดีขึ้น การบำบัดด้วยพลาสมาไนไตรดิ้งที่ปราศจากมลภาวะจะดำเนินการภายใต้ความดันต่ำมากและมีก๊าซไอเสียน้อยมาก แหล่งก๊าซคือไนโตรเจน ไฮโดรเจน และแอมโมเนีย และไม่มีสารอันตรายใดๆ เกิดขึ้น

9) สามารถนำไปใช้กับวัสดุทุกชนิด รวมถึงสแตนเลส เหล็กทนความร้อนที่มีอุณหภูมิไนไตรด์สูง เหล็กกล้าเครื่องมือ และชิ้นส่วนความแม่นยำที่มีอุณหภูมิไนไตรด์ต่ำ ในขณะที่ไนไตรด์ที่อุณหภูมิต่ำนั้นค่อนข้างยากสำหรับการไนไตรด์ด้วยก๊าซ