คาร์บูไรซิ่งแบบสุญญากาศคือการทำให้ชิ้นงานร้อนในสุญญากาศเมื่อถึงอุณหภูมิเหนือจุดวิกฤต มันจะอยู่ชั่วระยะเวลาหนึ่ง ขจัดแก๊สและเอาฟิล์มออกไซด์ออก จากนั้นจึงผ่านก๊าซคาร์บูไรซิ่งบริสุทธิ์สำหรับคาร์บูไรซิ่งและการแพร่กระจายอุณหภูมิ carburizing ของ carburizing สุญญากาศสูงถึง 1030 ℃ และความเร็วของ carburizing นั้นรวดเร็วกิจกรรมพื้นผิวของชิ้นส่วนคาร์บูไรซ์ได้รับการปรับปรุงโดยการขจัดแก๊สและขจัดออกซิไดซ์ความเร็วการแพร่กระจายที่ตามมาสูงเกินไปคาร์บูไรซิ่งและการแพร่กระจายจะดำเนินการซ้ำ ๆ และสลับกันจนกว่าจะถึงความเข้มข้นและความลึกของพื้นผิวที่ต้องการ
สามารถควบคุมความลึกของคาร์บูไรซิ่งและความเข้มข้นของพื้นผิวได้สามารถเปลี่ยนคุณสมบัติทางโลหะวิทยาของชั้นผิวของชิ้นส่วนโลหะได้ และความลึกของคาร์บูไรซิ่งที่มีประสิทธิภาพนั้นลึกกว่าความลึกของคาร์บูไรซิ่งจริงของวิธีการอื่นๆ